上海大恒光学精密机械有限公司

薄膜技术研究与发展中心（简称薄膜中心）是中国科学院上海光学精密机械研究所四个高技术研究与发展中心的其中一个。
中心的主要研究领域是光学薄膜，其特色体现在激光薄膜，即以追求高光学性能、高激光损伤阈值的激光薄膜为主要努力方向。在光学薄膜的应用波长上，跨越了从软x射线、极紫外、紫外、可见到近红外波段。
自1964年建所以来，薄膜中心一直是国内从事激光薄膜相关研究与产品开发的重要的研究机构之一。薄膜中心持续开展了高功率激光薄膜、全固态激光器薄膜、软x射线膜、紫外膜、滤光片、红外膜、He-Ne激光薄膜、强光防护片以及透明导电膜等不同系列光学薄膜的研发工作；同时，自2000年以来，还大力发展了光通信薄膜、投影显示系统光学薄膜、光电功能薄膜等研发工作；并且，对于薄膜的设计方法、制备工艺与光学薄膜的微观结构、损伤机理和光学特性的关系等基础问题进行了大量的实验探索和深入的理论分析。
在镀膜设备方面，薄膜中心具备磁控溅射、离子束溅射、热蒸发和电子束蒸发等不同的物理气相薄膜沉积手段。截止到2002年9月，经过设备更新以后，薄膜中心共拥有17台镀膜机，形成了真空室尺寸从1.8m到450mm不等的多个系列镀膜设备；从美国进口的全自动双离子束溅射光学镀膜机和国产的一批新型电子束蒸发镀膜机等设备，以及离子源、电子枪、膜厚控制系统等关键部件的添置，为高性能的光学薄膜提供了先进的沉积条件和研究手段，为薄膜中心的下一轮发展初步奠定了物质基矗