《微细加工技术》编辑部

由中华人民共和国信息产业部主管、中国电子科技集团公司第四十八研究所主办的《微细加工技术》重点报道国内外以电子束技术、离子束技术、光子束技术、薄膜技术、微机械加工技术、纳米技术等为主的各种微细加工技术在教学、科研、技术、工程和应用等方面的进展与成就，特别是关键工艺的图形光刻、掺杂改性、薄膜生长、超微结构等各种加工技术。《微细加工技术》是国家一级检索刊物，被EI等世界著名检索系统和数据库全文收录，是《中国科学引文数据库》来源期刊，中文科技核心期刊等。刊详细介绍电子束曝光、离子束曝光、X射线曝光、激光束曝光；等离子体干法刻蚀和其它新的图形刻蚀；离子注入掺杂及金属、非金属、有机物等材料改性；薄膜沉积和外延生长；超微结构及新型功能电子材料的研制；亚微米和纳米尺度的加工，ULSI、光电器件、量子器件、集成传感器、微机械及微结构等领域的各种加工技术及发展动态；同时介绍太阳能电池的相关技术。为了更好地推进我国微细加工技术的发展，组织开展微细加工技术的学术交流与技术合作，协助相关单位做好与主管政府部门之间的协调、沟通与课题申报等工作，充分发挥本刊学术交流平台的优势，并进一步提高办刊质量，特邀请在微细加工技术领域承担国家“863”计划、“973”计划、攻坚计划、国家自然科学基金等项目的科研院所、大专院校、国家和省部级重点实验室以及从事相关产业的著名企事业单位的专家、学者、技术人员等共同组建《微细加工技术》特邀编委会。鉴于您在我国微细加工技术领域的地位和作用以及您的卓越贡献，特邀请您担任《微细加工技术》特邀编委会常会编委！