沈阳奇光真空技术研究所

应用于半导体，微电子，光电子，表面科学，新材料，新能源领域的真空应用设备的研究，开发，设计，制造，改造，修理与维护：
磁控溅射，分子束外延（MBE），各种化学气相沉积（如LPCVD，PECVD，MOCVD，超高温CVD等）热蒸发，电子束，离子束，多弧，离子刻蚀，离子剪薄，各种真空炉（热处理，熔炼，单晶，扩散，氧化，退火等）
真空设备常用零部件的设计制造：
各种高真空与超高真空角阀，各种高真空插板阀，管道与法兰，玻璃金属封接观察窗，陶瓷金属封接电极，氟胶密封圈，无氧铜垫，磁控溅射靶，分子束源炉，样品架，磁力偶合传动系统
真空专用电源（直流恒流电源，中频电源，射频电源），真空专用控制系统及软件的研究开发与设计制造
超高真空与洁净真空技术，真空薄膜工艺技术的研究开发与咨询