青岛华旗科技有限公司

青岛华旗科技有限公司(青岛精诚华旗微电子设备有限公司，建于1993年)，为专业半导体工艺设备及先进材料专用设备研发制造厂家。致力于为半导体集成IC电路分立器件、MEMS、太阳能电池、半导体照明LED及磁性材料厂家提供先进的专用设备，工艺涵盖化合物半导体晶体生长（及提纯、合成等）、外延、薄膜淀积（氮化硅、氧化硅、多晶硅等）、氧化扩散（包括退火合金含工艺及快速退火工艺等）、真空烧结等工艺。半导体工艺设备覆盖三代半导体材料--硅、砷化镓、氮化镓等，高性能磁性材料真空设备（钐钴、钕铁硼等）。同时承担了部分国家863项目（如半导体白光照明GaN生长的HVPE设备等）及相关的国家重点项目等。
主要产品：氧化扩散炉系列、LPCVD 系统、PECVD系统、HVPE系统、MOCVD系统、RTP快速热处理、气瓶柜、半导体尾气（废）处理SCRUBBER，真空热 处理炉、链式炉系列、扩散炉体系列等。